EGPA气动栓隔膜阀

【适用气体】

腐蚀性，毒性，易燃，超高纯气体（半导体）：NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高纯气体及混合气体。

【特征 1】 成功削减约60%的死角空间，清洁性能，耐腐蚀性更出众

①气体很难在阀体内滞留，阀的主件不会受到功能损坏或腐蚀。

②可保证气体纯度，对半导体品质的影响降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.4∽0.6

①适用于液化气的大流量阀门，也可用于压缩气体。是划时代的产品！

②进出口螺纹及形式由客户指定的规格标准生产。

【特征 3】 采用特殊的平垫片

 ①可减轻因扭力过大导致的垫片变形。

参数：